Profil anzeigen: 300 mm CMOS-Reinraum Geräte — 300 mm CMOS-Reinraum
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Röntenbeugung (XRD/XRR)
Hersteller: Bruker Corporation Modell: D8 DISCOVER Einrichtung: Analytik und Metrologie
Elektronenmikroskopie
Hersteller: Hitachi; Thermo Fischer; FEI Tecnai Modell: S-5000; Apreo S; F20 Einrichtung: Analytik und Metrologie
Time-of-Flight-Massenspektrometrie (ToF-SIMS)
Hersteller: ION-TOF GmbH Modell: TOF.SIMS 300R Einrichtung: Analytik und Metrologie
Röntgen-Photoelektronen-Spektroskop (XPS)
Hersteller: PHI Quantes Scanning XPS/HAXPES Microprobe Einrichtung: Analytik und Metrologie
