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Profil anzeigen: 200 mm MEMS-Reinraum

Geräte — 200 mm MEMS-Reinraum

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
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45 Ergebnisse

 

Profilometer

Hersteller: KLA Tencor
Modell: surface Profiler P16+
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 
KLA-Tencor Surfscan 6220 (Quelle: www.specequipment.com)

Defektmessungen

Hersteller: Applied Materials; Leica; Semilab
Modell: Compass Pro; INS3000; FAaST 230
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Waferinspektion

Hersteller: HSEB
Modell: Axiospect 302
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 
Wyko NT8000 (Quelle: www.fabsurplus.com)

Weisslichtinterferometer

Hersteller: Veeco Instruments
Modell: NT8000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 
Ellipsometer Woollam VB-400 (Quelle: www.appropedia.org)

Ellipsometer

Hersteller: J.A. Woollam Co. Inc.
Modell: VB-400
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Oberflächencharakterisierung

Hersteller: Krüss
Modell: DSA100W
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Rasterkraftmikroskopie (AFM)

Hersteller: Veeco; Park Systems
Modell: Nanoscope D3100; NX-Wafer
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)

Hersteller: Applied Materials
Modell: Verity Lite
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 
FE SEM Jeol JSM-6700F

Rasterelektronenmikroskop (FE REM)

Hersteller: JEOL GmbH; FEI
Modell: JSM-6700F; Helios Nanolab 660
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Filmdickenmessung

Hersteller: Screen; Olympian
Modell: Lambda Ace RE-3300; n & k
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum