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Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM / FE REM Rasterelektronenmikroskop)
Hersteller: JEOL GmbH Modell: JSM-6700F Einrichtung: MEMS Technologies Dresden
Surface Profilometer
Hersteller: KLA-Tencor Corporation Modell: Surface Profiler P16 Einrichtung: MEMS Technologies Dresden
Weisslichtinterferometer / White-Light Interferometer (Optical Profiler)
Hersteller: Veeco Instruments Modell: NT9800 Einrichtung: MEMS Technologies Dresden