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Profil anzeigen: 200 mm MEMS-Reinraum

Geräte — 200 mm MEMS-Reinraum

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems
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45 Ergebnisse

 

Laser-Scanning-Mikroskop

Hersteller: Keyence
Modell: VK-X200
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Materialtest

Hersteller: Zwick / Roell
Modell: 2.5kN Zwicki
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Lasermarkierung von verschiedenen Material

Hersteller: Keysight
Modell: MD-U1000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Packaging

Hersteller: Häcker Automation; Finetech; Ficontec
Modell: VICO Xtec / Laser; FEMTO; IL2000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Sägen

Hersteller: DISCO Corp.
Modell: DAD 651
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer-Bonden

Hersteller: SUSS
Modell: SB8 & XB8; BA8 Gen3
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Nasses Ätzen

Hersteller: AP&S; ClassOne Technology
Modell: Manual wet bench; Trident SAT
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Waderreinigung

Hersteller: AP&S; Screen; PEMgroup
Modell: GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Asching

Hersteller: tfd;Tryman
Modell: GIGAbatch 380M; NEO2232
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Gasphasenfreisetzungstechniken

Hersteller: KLA
Modell: Monarch and Xetch
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum