Profil anzeigen: 200 mm MEMS-Reinraum Geräte — 200 mm MEMS-Reinraum
45 Ergebnisse
Trocken ätzen
Hersteller: LAM; SPTS
Modell: ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
Hersteller: Applied Materials
Modell: DESICA
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Schnelles thermisches Glühen (RTA)
Hersteller: OEMgroup
Modell: Heatpuls 8800
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Oxidierung und Aushärten
Hersteller: Inotherm; TEL; Centroterm; Inotherm
Modell: LDS200-2; Alpha 8SE; E1550 HT 320-4; E1550-310-5; LDS-200-2
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Evaporieren von Material auf ein Substrat
Hersteller: Evatec
Modell: BAK 761
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Sputtern (PVD)
Hersteller: von Ardenne Anlagentechnik; SPTS
Modell: CS400S; Sigma 204
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Chemische Niederdruck-Gasphasenabscheidung (LP-CVD)
Hersteller: Centroterm
Modell: E1550 HT 320-4
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PE-CVD)
Hersteller: Applied Materials
Modell: Centura
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Atomlagenabscheidung (ALD)
Hersteller: Picosun; SPTS
Modell: P-300; MVD 300 Batch Reactor
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
4