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Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

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59 Ergebnisse

Parametrisches Testsystem

Hersteller: Keithley
Modell: S530 basic EG4090µ; B1500 EG4090µ UF3000EX
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Mixed-Signal-Prüfung

Hersteller: Advantest; Cascade Microtech
Modell: M3650 / EG4090μ / UF3000EX; M3670-Falcon / EG4090μ+ / PA300 ; V93000 SmartScale / EG4090µ / UF3000EX|
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Wafer Messungen

Hersteller: sentronics metrology
Modell: SemDex M2
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Verspannungsmessungen

Hersteller: Frontier Semiconductor
Modell: FSM500-TC-R
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

4-Spitzenmessplatz für Schichtwiderstände

Hersteller: veonis technologies
Modell: CDE ResMap168
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Profilometer

Hersteller: KLA Tencor
Modell: surface Profiler P16+
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

KLA-Tencor Surfscan 6220 (Quelle: www.specequipment.com)

Defektmessungen

Hersteller: Applied Materials; Leica; Semilab
Modell: Compass Pro; INS3000; FAaST 230
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Waferinspektion

Hersteller: HSEB
Modell: Axiospect 302
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Wyko NT8000 (Quelle: www.fabsurplus.com)

Weisslichtinterferometer

Hersteller: Veeco Instruments
Modell: NT8000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

Ellipsometer

Hersteller: J.A. Woollam Co. Inc.
Modell: VB-400
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

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