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Profil anzeigen: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
59 Ergebnisse
Parametrisches Testsystem
Hersteller: Keithley Modell: S530 basic EG4090µ; B1500 EG4090µ UF3000EX Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Mixed-Signal-Prüfung
Hersteller: Advantest; Cascade Microtech Modell: M3650 / EG4090μ / UF3000EX; M3670-Falcon / EG4090μ+ / PA300 ; V93000 SmartScale / EG4090µ / UF3000EX| Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Wafer Messungen
Hersteller: sentronics metrology Modell: SemDex M2 Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Verspannungsmessungen
Hersteller: Frontier Semiconductor Modell: FSM500-TC-R Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
4-Spitzenmessplatz für Schichtwiderstände
Hersteller: veonis technologies Modell: CDE ResMap168 Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Defektmessungen
Hersteller: Applied Materials; Leica; Semilab Modell: Compass Pro; INS3000; FAaST 230 Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Weisslichtinterferometer
Hersteller: Veeco Instruments Modell: NT8000 Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
