Profil anzeigen: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
59 Ergebnisse
Nasses Ätzen
Hersteller: AP&S; ClassOne Technology Modell: Manual wet bench; Trident SAT Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Waderreinigung
Hersteller: AP&S; Screen; PEMgroup Modell: GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Gasphasenfreisetzungstechniken
Hersteller: KLA Modell: Monarch and Xetch Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Trocken ätzen
Hersteller: LAM; SPTS Modell: ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
Hersteller: Applied Materials Modell: DESICA Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Schnelles thermisches Glühen (RTA)
Hersteller: OEMgroup Modell: Heatpuls 8800 Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Oxidierung und Aushärten
Hersteller: Inotherm; TEL; Centroterm; Inotherm Modell: LDS200-2; Alpha 8SE; E1550 HT 320-4; E1550-310-5; LDS-200-2 Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
