Profil anzeigen: Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
59 Ergebnisse
Nasses Ätzen
Hersteller: AP&S; ClassOne Technology
Modell: Manual wet bench; Trident SAT
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Waderreinigung
Hersteller: AP&S; Screen; PEMgroup
Modell: GigaStep; SS-80BW-AVR; Cintillio SST
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Gasphasenfreisetzungstechniken
Hersteller: KLA
Modell: Monarch and Xetch
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Trocken ätzen
Hersteller: LAM; SPTS
Modell: ALLIANCE 9600PTX; Omega fxP
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
Hersteller: Applied Materials
Modell: DESICA
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Schnelles thermisches Glühen (RTA)
Hersteller: OEMgroup
Modell: Heatpuls 8800
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
Oxidierung und Aushärten
Hersteller: Inotherm; TEL; Centroterm; Inotherm
Modell: LDS200-2; Alpha 8SE; E1550 HT 320-4; E1550-310-5; LDS-200-2
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum
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