Dresden
Technologieportal

 
Ihr Zugang zu Forschungsinfrastruktur und Know-how
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Nach mehr als 10 Jahren Dienst wird das Dresden Technologieportal in naher Zukunft seinen Dienst einstellen.
Auf den Nachfolgedienst werden wir bei Inbetriebnahme hier verweisen.
Bitte aktualisieren Sie hier keine Geräteeinträge mehr, sondern nutzen Sie zukünftig das neue Portal.

Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS)
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Einrichtungen: diese Einrichtung(0), untergeordnete Einrichtungen(59),

Sortierung:

59 Ergebnisse

 

Oberflächencharakterisierung

Hersteller: Krüss
Modell: DSA100W
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Rasterkraftmikroskopie (AFM)

Hersteller: Veeco; Park Systems
Modell: Nanoscope D3100; NX-Wafer
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)

Hersteller: Applied Materials
Modell: Verity Lite
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Rasterelektronenmikroskop (FE REM)

Hersteller: JEOL GmbH; FEI
Modell: JSM-6700F; Helios Nanolab 660
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Filmdickenmessung

Hersteller: Screen; Olympian
Modell: Lambda Ace RE-3300; n & k
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Laser-Scanning-Mikroskop

Hersteller: Keyence
Modell: VK-X200
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Materialtest

Hersteller: Zwick / Roell
Modell: 2.5kN Zwicki
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Lasermarkierung von verschiedenen Material

Hersteller: Keysight
Modell: MD-U1000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Packaging

Hersteller: Häcker Automation; Finetech; Ficontec
Modell: VICO Xtec / Laser; FEMTO; IL2000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Sägen

Hersteller: DISCO Corp.
Modell: DAD 651
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

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