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Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS)
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59 Ergebnisse

 

Oberflächencharakterisierung

Hersteller: Krüss
Modell: DSA100W
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Rasterkraftmikroskopie (AFM)

Hersteller: Veeco; Park Systems
Modell: Nanoscope D3100; NX-Wafer
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Critical Dimension Scanning Electron Microscope (CD-SEM)

Hersteller: Applied Materials
Modell: Verity Lite
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Rasterelektronenmikroskop (FE REM)

Hersteller: JEOL GmbH; FEI
Modell: JSM-6700F; Helios Nanolab 660
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Filmdickenmessung

Hersteller: Screen; Olympian
Modell: Lambda Ace RE-3300; n & k
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Laser-Scanning-Mikroskop

Hersteller: Keyence
Modell: VK-X200
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Materialtest

Hersteller: Zwick / Roell
Modell: 2.5kN Zwicki
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Lasermarkierung von verschiedenen Material

Hersteller: Keysight
Modell: MD-U1000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Packaging

Hersteller: Häcker Automation; Finetech; Ficontec
Modell: VICO Xtec / Laser; FEMTO; IL2000
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum

 

Wafer Sägen

Hersteller: DISCO Corp.
Modell: DAD 651
Einrichtung: 200 mm MEMS-Reinraum