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Geräte — Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)

Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems (IPMS)
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24 Ergebnisse

 

Defect Inspection System

Hersteller: KLA-Tencor Corporation
Modell: Surfscan 6220
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Tunable Diode Laser System

Hersteller: New Focus™
Modell: TLB-6200
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Confocal Raman Microscope

Hersteller: Renishaw plc.
Modell: inVia
Einrichtung: Interconnects

 

Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM / FE REM Rasterelektronenmikroskop)

Hersteller: Hitachi High Technologies
Modell: S-5000
Einrichtung: Analytics

 

TOF-SIMS

Hersteller: ION-TOF GmbH
Modell: TOF.SIMS 300R
Einrichtung: Analytics

 

Twymen-Green-Interferometer

Hersteller: TRIOPTICS GmbH (FISBA OPTIK GmbH)
Modell: µPhase® DCI 2
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Microscope Scanning Vibrometer

Hersteller: Polytec GmbH
Modell: MSV-300
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

X-Ray Diffractometer (XRD)

Hersteller: Siemens AG
Modell: D5000
Einrichtung: MEMS Technologies Dresden

 

Fourier Transform Infra Red Spectrometer (FT-IR)

Hersteller: Varian Inc. (now: Agilent Technologies)
Modell: 640-IR
Einrichtung: High-k Devices

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